КаталогШаговые двигателиПланарный сервопривод

Планарный сервопривод

             Планарный сервопривод - это охваченный обратной связью по положению планарный шаговый привод.
Обратная связь по положению осуществляется встроенными датчиками Холла. 
Мотор автоматически устанавливается параллельно периоду нарезки статора в пределах 2-3 периодов нарезки. 
Отсутствие механической передачи гарантирует высокое качество движения и долгую работоспособность.
В позиции(стоянке) мотор может совершать программируемые поворотные движения +/- 1 градус для доворота заготовки.

Отличительные особенности:

  • Идеальная повторяемость перемещения и долговечность благодаря магнито-воздушному подшипнику
  • Независимое перемещение по двум осям
  • Малые габаритные размеры по высоте встраивания в оборудование
  • Простое построение многокоординатной системы в одной плоскости путем наращивания числа якорей
  • Возможность реализации в одной плоскости нескольких координатных систем с пересекающимися траекториями      

 Области применения:

  • Сборочные операции в микроэлектронике и сборочном производстве
  • LSI и VLSI сварка
  • Резка/установка кристаллов
  • Probe monitoring.
  • Поверхностный монтаж
  • Элементная и блочная сборка
  • Лазерные технологические комплексы
  • Измерительные машины.

Технические параметры:

  • Период нарезки: 0,64 mm; 1,0mm
  • Число фаз: 2; 3
  • Номин. сила тока: 3±0,3 A
  • Max. скорость: 1,5 m/s
  • Max. ускорение: 30 m/s2
  • Повторяемость: микрон
  • Точность позиционирования:±   10 микрон<
  • Воздушная подушка: 10-14 микрон
  • Диапазон температуры окружающей среды : 20 ±10 град С
  • Подводимое давление воздуха: 0,3±0,04 Mpa
  • Максимальный размер статора: 1x1,5 м
     

     

       

    PRM-P-1-
    146-154-23

    PRM-P-1-
    175-320-30-HS

    PRM-P-1-
    154-184-28-HS

    PRM-P-1.00-
    236-214-33

    PRM-P-1-
    380-360-48-HS

    Габаритные размеры якоря (LxBxH)

     

    мм

    146 x 154 x 23

    175 x 320 x 30

    154 x 184 x 28

    214 x 236 x 30

    380 x360 x 48

    Масса

     

    кг

    1.4

    3.7

    1.7

    0.7

    12.0

    Количество фаз двигателя

     

     

    2

    2

    2

    3

    2

    Расход сжатого воздуха

     

    (литр/мин)

    6

    21

    6.4

    15

    36.2

    Номинальный ток /фазу

    I

    A

    3.0

    3.0

    3.0

    3.0

    6.0

    Сопротивление

    R

    (Ом)

    0.8

    1.5

    0.8

    1.0

    0.4

    Индуктивность

    L

    (mH)

    1.9

    3.6

    1.9

    2.0

    0.9

    Усилие, N: по коорд X 
    Усилие, N: по коорд Y

     

    N

    70
    70

    140
    140

    75
    75

    120
    120

    350
    350

     

     

    Повторяемость

     

    (микрон)

    3

    3

    3

    3

    3

    Точность позиционирования

     

    (микрон)

    ±25

    ±10

    ±10

    ±10

    ±10

    Разрешение

     

    (микрон)

    3

    1

    1

    1

    1

    Сила притяжения , (N)

    Fz

    N

    360

    1000

    560

    200

     

    Нагрузка

    Ft

    N

    290

    800

    430

    160

    1500

    Момент

    Mbr

    Nm

    3.2

    19

    5.8

    1.5

    56.4

    Габаритные и присоединительные размеры *.pdf